Original Article
  • The Pridiction of Deposition Thickness onto Carbon Fibers and the Effect of Deposition Thickness on Properties
  • Y.S Lee, B.J. Oh, B.S Rhee
  • 탄소섬유상의 증착 두께 예측 및 증착 두께가 물성에 미치는 영향
  • 이영석(충남대학교 공과대학 화학공학과 ), 오복진(쌍용양회(주)), 이보성(충남대학교 공과대학 화학공학과 )
Abstract
탄소섬유상에 확산 방지막 또는 내산화막을 얻기 위하여 화학기상증착법을 이용하여 탄화규소를 증착한 후, 반응 변수(증착온도, 운반기체)에 따른 증착 두께와의 관계를 간단하고도 유용한 식으로 나타내었다. 운반기체에 대한 증착속도는 수소의 경우가 아르곤에 비해 빨랐으며, 이 효과는 고온에서 보다 저온에서 더욱 분명하였다. SiC층의 두께가 200nm 이상에서는 탄소섬유의 인장강도는 초기 강도값에 비해 크게 감소하였다. 탄소섬유의 SiC 증착 속도 및 기계적 강도는 증착 조건에 따른 두께에 의해 크게 영향을 받았다.

탄소섬유상에 확산 방지막 또는 내산화막을 얻기 위하여 화학기상증착법을 이용하여 탄화규소를 증착한 후, 반응 변수(증착온도, 운반기체)에 따른 증착 두께와의 관계를 간단하고도 유용한 식으로 나타내었다. 운반기체에 대한 증착속도는 수소의 경우가 아르곤에 비해 빨랐으며, 이 효과는 고온에서 보다 저온에서 더욱 분명하였다. SiC층의 두께가 200nm 이상에서는 탄소섬유의 인장강도는 초기 강도값에 비해 크게 감소하였다. 탄소섬유의 SiC 증착 속도 및 기계적 강도는 증착 조건에 따른 두께에 의해 크게 영향을 받았다.

This Article

  • 1997; 10(1): 46-55

    Published on Feb 28, 1997